Quarz bzw. Saphir ausheilen (Quartz/Sapphire annealing)?

Beste Antwort

Ich selbst habe keinerlei direkten Bezug zu diesem Thema.

Es gibt eine Menge Unterlagen zur "Ausheilung", praktisch alle aber den Oberflächen und nicht den Substraten
gewidmet.
Folgender Auszug aus einem Artikel in einer Fachzeitschrift
befasst sich offenkundig mit der Ausheilung eines "sapphire wafer", Dein Thema.
Es wird auch eine Temperatur, sowie eine Zeit benannt.

Auszug:
"As a control, an as-grown, unimplanted GaN/sapphire wafer was also furnace annealed at 1150 deg C for 5 min under nitrogen to determine the effect upon the ......."

Der Artikel ist bereits 1999 in der März-Ausgabe der Zeitschrift "Journal of Electronic Materials" erschienen.
Solltest Du diese Zeitschrift mit dem Artikel
" Activation of silicon ion-implanted gallium nitride by furnace annealing"
nicht in Eurer Bibliothek finden, kannst Du diesen Artikel
als PDF-Datei unter folgendem Link anfordern:

http://www.springerlink.com/content/n0v6158224325464/?p=baaae970b0e544e2b9fe5d3b20250713&pi=0

Falls Du unsicher bist, ob der Artikel Dir weiterhilft, frage einen der Verfasser, Dr. Russel D. Dupuis.
Seine e-mail-Adresse ist:

dupuis@mail.utexas.edu.

lg
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