Quarz bzw. Saphir ausheilen (Quartz/Sapphire annealing)?

Question

Hallo zusammen,

ich wollte mal fragen, ob jemand Erfahrungen mit dem Ausheilen von Quarz (respektive Saphir)-Substraten hat?! Zur Vorbereitung einer CVD benötige ich ne "ordentliche Unterlage". Nun wollte ich dafür ein paar Informationen zusammentragen, bezüglich Temperaturen und Ausheil-Dauer. Allerdings ist es nicht leicht da irgendwas zu finden, weshalb ich mich hier an die Community wende.

Hat jemand schon eigene Erfahrungen gemacht?
Kennt jemand Veröffentlichungen zu dem Thema? Oder Veröffentlichungen in denen was dazu drin steht! (Wenn ja: welche?)

Wäre für jegliche Hinweise sehr dankbar!

mfg
TheMasterJK

rowi4711 · Accepted Answer

Ich selbst habe keinerlei direkten Bezug zu diesem Thema.

Es gibt eine Menge Unterlagen zur "Ausheilung", praktisch alle aber den Oberflächen und nicht den Substraten
gewidmet.
Folgender Auszug aus einem Artikel in einer Fachzeitschrift
befasst sich offenkundig mit der Ausheilung eines "sapphire wafer",  Dein Thema.
Es wird auch eine Temperatur, sowie eine Zeit benannt.

Auszug:
"As a control, an as-grown, unimplanted GaN/sapphire wafer was also furnace annealed at 1150 deg C for 5 min under nitrogen to determine the effect upon the ......."

Der Artikel ist bereits 1999 in der März-Ausgabe der Zeitschrift  "Journal of Electronic Materials" erschienen.
Solltest Du diese Zeitschrift mit dem Artikel 
" Activation of silicon ion-implanted gallium nitride by furnace annealing"
nicht in Eurer Bibliothek finden, kannst Du diesen Artikel
als PDF-Datei unter folgendem Link anfordern:
  
http://www.springerlink.com/content/n0v6158224325464/?p=baaae970b0e544e2b9fe5d3b20250713&pi=0

Falls Du unsicher bist, ob der Artikel Dir weiterhilft, frage einen der Verfasser, Dr. Russel D. Dupuis.
Seine e-mail-Adresse ist:  

dupuis@mail.utexas.edu.

lg
rowi4711

Quarz bzw. Saphir ausheilen (Quartz/Sapphire annealing)?

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