Schichtdickenmessung mit XPS?
Hallo,
ich möchte über eine XPS-Messung die Schichtdicke einer Co-Schicht auf nem Quarz-Substrat bestimmen. Leider finde ich dazu nix.
Hat einer von euch vielleicht ne PDF oder nen Weblink oder n Buch, oder sogar ne kurze prägnante Antwort parat?
Danke!
Ich dachte, die Frage is deutlich gestellt, aber dann halt so:
Wie bestimme ich die Schichtdicke per XPS?
(Suche Anleitungen im Web, per PDF, etc.!)