Schichtdickenmessung mit XPS?

Hallo,

ich möchte über eine XPS-Messung die Schichtdicke einer Co-Schicht auf nem Quarz-Substrat bestimmen. Leider finde ich dazu nix.

Hat einer von euch vielleicht ne PDF oder nen Weblink oder n Buch, oder sogar ne kurze prägnante Antwort parat?

Danke!

2008-03-05T12:40:07Z

Ich dachte, die Frage is deutlich gestellt, aber dann halt so:

Wie bestimme ich die Schichtdicke per XPS?
(Suche Anleitungen im Web, per PDF, etc.!)

KN2008-03-10T02:39:54Z

Beste Antwort

Vielleicht hilft Dir dieser Link: http://www.pc2str.uni-duesseldorf.de/analysenmethode_xps.htm
Ansonsten sollte die darin enthaltene Literaturstelle Cha95 weiterhelfen.

Pepsimaster2008-03-05T16:05:10Z

Was genau ist denn deine Frage?